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福建中晶科技有限公司關于Nikon光刻機維修調試項目采購公告
Date:2022/11/25 瀏覽人數:349

福建中晶科技有限公司

關于Nikon光刻機維修調試項目采購公告

一、項目名稱

福建中晶科技有限公司Nikon光刻機維修調試項目

二、服務要求說明

見附件

三、投標有關事項及要求

1.必須響應驗收技術要求;

2.當有下列情況之一發生時,將依廢標處理:

2.1報價函有涂改的;

2.2修改原報價單報價明細的;

2.3投標人不足三家的;

2.4本次采購項目報價最高限價為人民幣18萬元(含國家規定的增值稅稅費)。高于最高限價的報價為無效報價,作廢標處理。

四、投標截止日期

投標截止時間:即日起至2022年112917:00(以收到參選材料時間為準)

五、報名方式、郵寄地址

參選材料須在規定的投標截止期限前快遞或直接密封送達至我司。

郵寄地址:龍巖市永定區高陂鎮永定工業園區福建中晶科技有限公司

聯系人:吳女士

聯系電話:19906970336  (0597-3011820)

六、參選材料

1.營業執照復印件(加蓋公章);

2.法人身份證復印件(加蓋公章);

3.報價函(加蓋公章);

4.服務內容與驗收技術要求(加蓋公章)

七、定標方式

本次采購項目采用最低價中標方式,即總報價最低單位為第一中標人,相同報價時優先選擇服務過本企業項目的投標人。

八、注意事項

1.參選人在參與本次比選過程中須嚴格遵守國家有關法律法規、政策及廉潔從業的各項規定。

2.中標人需在收到中標通知書3個工作日內與招標方簽訂合同。

3.業務聯系人:鐘女士    

聯系電話:13600999797 

 

 

 

 

 

 

附件 

服務內容與驗收技術要求

 

一、設備編號、型號、數量

序號

設備編號

設備型號

數量

單位

1

GKJ15

i8

1

二、設備調試地點:

福建中晶科技有限公司廠內。

三、交貨(工程)期限:

乙方向甲方承諾有技術、條件、人員及能力對甲方Nikon i8光刻機進行維修調試在合同生效后乙方需在20天內將甲方現場i8光刻機維修調試完成并交付生產使用。

四、驗收技術要求

1硬件測試

No.

Acceptance Item

Specifications

響應與否

偏離情況

1

分辨率(Resolution

0.55um um L&S (At best Focus)



2

焦深(DOF

0.6umDOF /10%CD variation



3

曝光強度

Exposure Power

500mW/cm2 or More (flash)



5

照明均勻性

Illumination Uniformity

Within ±2.0%



6

工作臺步進精度

Stepping Precision

3σ≤90nm



7

掩膜旋轉(Reticle Rotation)

|M|+3σ≤20nm



8

wafer flatness(Max-Min)

<20 1/10micron)



9

平整度:Chip leveling accuracy

Within +/-1.5sec



 

2、招標人提供條件:

本次維修調試投標人包工包料,維修期間設備所需更換的所有配件,由投標人負責購買及更換,招標人只提供基本的水電等基本設施。

3、設備質量要求及驗收指標:

投標人的調試遵循設備原廠的設備運行原理,在調試后應恢復到最好性能和精度,滿足招標人大規模、穩定光刻生產的需求;設備硬件及工藝問題,投標人負責維修和調試驗收的方法為必須達到招標人能大規模生產PSS工藝產品所需的工藝技術要求,選用Φ100.8mm標準藍寶石片進行測試。投影光刻專用i線光刻膠,其中藍寶石TTV≤5,涂膠膜厚中心值在2.6±0.1μm范圍內,膠厚均勻性≤2.0%。

驗收指標

1、曝光場尺寸8.5×8.5mm,以我司AOI為檢測標準做出的PSS光刻產品產出無格線或明暗場、無拼接錯位;

2、曝光場尺寸8.5×8.5mm產能525/天。

3、在設備量產操作的情況下連續800片內無任何非人為異常故障與失誤。

其他工藝條件:按i線光刻工藝及相關投影工藝而定。測定方法按行業通行的電鏡法或雙方認可的其他方法進行。


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